Корпус 16 — СКТБ

Корпус, получивший номер «16», был построен в 1939 году по данным Росреестра.

Фасад корпуса 16 — СКТБ.
четырехэтажное здание с бордовыми стенами и светлобежевыми "колоннами"
Корпус 16, в котором располагалось СКТБ. Вид со двора.

Размещенные подразделения:

Реконструкция здания

В 1967 году была подписана документация на первую очередь реконструкции здания под нужды полупроводникового производства, которая заключалась в оснащении здания более новыми системами газоснабжения, электроснабжения, вентиляции и кондиционирования, пылеудаления и водоочистки. Со стороны заводской территории к корпусу был пристроен энергоблок и насосная станция.

1 этаж
Размещались: трансформаторная подстанция с щитовой, заготовительный участок, рентгеновский участок, ремонтная мастерская, дистиляторная (водоподготовка), отделение холодильных машин, теплоцентр, централизованная пылеуборка, механическая и макетная мастерские. В пристройке были расположены: нейтрализатор сточных вод, кладовые органики и кислот, венткамера и насосная цеха № 35.

Проходная на первом этаже корпуса 16.

В 1971 году на первом этаже в осях 5-7 (окна во двор) на участке мультипликации была установлена «Чистая комната» (модульная), состоящая из тамбура и помещения для фотоштампа, который был установлен в центре помещения (фирмы Carl Zeiss). Рядом стоял рабочий стол, ближе к стенкам по периметру — лабораторная мебель, микроскоп и вытяжной шкаф 1ШНЖ.

В отделении холодильных машин использовались 2 холодильные установки АК-ФУУ80А2, 2 испарительно-регулирующие агрегата АИР-130, 4 насоса на испаритель, и бак для воды.

2 этаж
При входе на второй этаж с главной лестницы справа была дверь в красный уголок, прямо — в отдел ОТК, а налево коридор с входами в помещения с ЭВМ. Гермозона, которая относилась к лаборатории № 27 (позже № 314) находилась слева от коридора, ведущего от главной лестницы во вторую гермозону. Небольшая гермозона была разделена на участки: фотолитографии, химии и термический участок. На участке фотолитографии вдоль стены от окна размещалась установка совмещения Carl Zeiss 830-03, скафандр для проявления, установка для нанесения фоторезиста и 2 скафандра для травления. У металлостеклянной перегородки, за которой был коридор, стоял вытяжной шкаф 1ШНЖ, а у противоположной установкам стенке скафандр для УЗ мойки и стол с микроскопом, в центре стойка с термостатами.
За пределами второй гермозоны далее находилась комната разработчиков и бытовые помещения.

коридор в корпусе 16 с зеленоватыми стенами, справа металлостеклянная перегородка в маленькую гермозону
На втором этаже корпуса 16: справа гермозона, впереди холл главной лестницы.

3 этаж
На третьем этаже размещались кабинеты руководства и помещения лабораторий № 10, 32, 42, 52, отдел кадров, копировальная, плановый отдел, касса, кабинет представителя заказчика.

две сотрудницы лаборатории 10 в белых халатах сидят за столом, справа стоит шкаф ШЗА-2 с образцами
Сотрудницы лаборатории №10 на своем рабочем месте на третьем этаже.

4 этаж
На 4-м этаже размещалась гермозона, с отгороженной частью для телеметрии (метрика), за пределами гермозоны находились помещения: группы технических условий и участок очистки газов. В гермозоне находились участки напыления и сборки, для участков электрохимического травления и полировки пластин были отгорожены отдельные комнаты. На четвертом этаже действовала установка Везувий 5 (имплантация В+ и Sb+).

мария яковлева в гермозоне СКТБ
Сотрудница Мария Яковлева в гермозоне 4 этажа корпуса СКТБ.

Сотрудник метрики вспоминают об оборудовании следующее: «На 4-м была телеметрия, стояла центрифуга. видимо и для космоса что-то делали, накопители с бобинами с колесо, и ЭВМ, Саратов назывались…. Рядом с моим местом припаивали золотую проволоку к контактам, ну и конечно протирали спиртом.»

Обсуждение закрыто.